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Meridian™ Diffusion Furnace Solutions

连续扩散炉

目前现有的间歇式扩散工艺已经无法满足晶硅电池制造商所面临的成本压力。BTU的Meridian™ 连续扩散炉将双面喷磷机、硅片干燥器和带有石英内衬的链式扩散炉集于一体,可降低每瓦成本,减少晶片的处理过程,且碎片率非常低。同时可达到1500硅片/小时的产能,并可获得完好均匀性和重复性的发射极。

Meridian™温度均匀性出色(小于±2℃),可确保得到精确重复性的硅片方阻和结深度控制。

方阻值可控在150欧姆以上,最高温度可达到1000°C。

这个范围不仅满足了现阶电池的设计要求,同时也覆盖下一代包括选择性电极发射的浅发射极电池的要求。

在德国慕尼黑Intersolar展会上,Meridian™被授予国际太阳能技术”行业的选择”奖。BTU的Meridian™连续扩散系统工艺稳定、不受操作工人水平影响、升降温快、同时维护简单,是业内最成功的链式扩散系统。

联系BTU来了解更多扩散炉工艺方案。